該設備光源采用進口激光器，工作臺采用精密直線導軌配合直線電機及DD馬達，光柵尺自動反饋系統(tǒng)，大大提升了工作臺的運行速度、定位精度、重復定位精度等參數(shù)指標。采用進口專業(yè)控制板卡統(tǒng)一進行運動及激光工藝的控制，以完成晶圓的切割和打孔加工生產過程。